Как изготавливается фильтр Байера?

Исходя из более раннего вопроса о фильтрах Байера, я удивился:

Как они на самом деле производятся? Как они наносят такое небольшое количество красителя на каждый подпиксель?

Моим лучшим предположением было бы какое-то химическое травление на оптической основе с последующей окрашивающей ванной ... (за цвет)

sensor bayer manufacturing

— Цифровое Лайткрафт
источник

en.wikipedia.org/wiki/Color_filter_array имеет раздел о производственном процессе

— dav1dsm1th

Ооо, хорошее место! @ dav1dsm1th - как ни странно, фактическая вики-фильтр Байера не упоминает об этом процессе, я прочитаю ...

— Digital Lightcraft

Из аннотации этой статьи Цветовой массив фильтров для ПЗС и КМОП-датчиков изображения с использованием химически усиленного термически отверждаемого предварительно окрашенного позитивного тона фоторезиста для литографии 365 нм

Фоторезист диазонафтохинон-новолак используется для производства этих фильтров путем последовательного нанесения и нанесения рисунка на каждый цветовой слой.

Мое понимание этой цитаты заключается в следующем

Фоторезист (полимер и сенсибилизирующий агент, который является относительно прозрачным в видимой области, но сильно поглощающим в УФ, начиная с 450 нм) с добавленным красителем (красным, зеленым или синим), осаждается на поверхности датчика
Металлическая узорчатая маска помещается поверх фоторезиста
Немаскированная область фоторезиста подвергается воздействию источника ультрафиолетового света, на который превращается диазонафтохинон
Маска снята
Экспонированный фоторезист растворяется водным растворителем, неэкспонированная область не растворяется так легко и поэтому остается
1-5 повторяются с использованием разных красителей и разных масок

Смотрите en.wikipedia.org/wiki/Diazonaphthoquinone для описания того, как работает этот фоторезист.

— Брайан Кубера
источник

Я подозреваю, что должен быть шаг выпечки между 5 и 6 или после 6. Может также быть этап выпечки между 1 и 2.

— Брайан Кубера

Хорошая ссылка - Тем не менее, статье уже 16 лет, так что, учитывая МАССИВНОЕ увеличение плотности чипа ccd / cmos с тех пор, это может не быть текущим методом ... например, возможно ли физически создать металлическую маску достаточно хорошо для сегодняшние фишки?

— Digital Lightcraft

Это было массовое увеличение? Я думаю, что плотность пикселей увеличилась примерно в 10 раз. Следовательно, линейный размер объекта должен был бы уменьшиться только в 3 раза. Однако вы, вероятно, правы, указав, что размещение маски непосредственно над фоторезистом, вероятно, не так, как это делается. Гораздо больше похоже на то, что маска отображается на фоторезисте и одновременно уменьшается, что необходимо для формирования рисунка на электронных устройствах датчика. Я отредактирую ответ, чтобы отразить это.

— Брайан Кубера

После дальнейшего рассмотрения, я думаю, что контактная маска, как я впервые описал, более вероятно используется для формирования цветового фильтра. Разрешение металлической маски может быть лучше 100 нм. Размер пикселя составляет порядка 1um.

— Брайан Кубера

Одна проблема, которую я не включил, - это формирование матрицы микролинз, которая, если она есть, может отделить или интегрировать часть цветного фильтра.

— Брайан Кубера