Конечно, это возможно. Есть много компаний, которые предоставляют эти услуги. Реальный вопрос заключается в том, можете ли вы сделать это дома.
Вы можете уйти, не нуждаясь в сканирующей электронной микроскопии (SEM), эта конструкция может быть выполнена в геометрии ~ 3u, которую можно было бы представить с использованием видимого света.
Вам понадобится влажный стол для травления слоев, например HF для SiO2, но вам также придется удалить Si3N4, SiON и алюминий. Возможно, вам понадобится сухое травление (Ar-плазма в вакуумной камере) для удаления вольфрамовых пробок в переходных отверстиях.
Ваши главные проблемы будут измерять точные значения резисторов и конденсаторов (если они есть). Определение границ субстратных имплантатов (украшение более грязными химикатами на мокрой скамье) и определение допинговых профилей. Профили легирования легко получить в SIMS-устройстве (вторичный ионный масс-спектрометр), но некоторые структурные детали имплантатов в FEOL (передний конец линии) могут быть тонкими.
Там будут тонкие толщины слоя, которые необходимо измерить, прежде чем они будут повреждены или уменьшены в толщине мокрым травлением.
Будет существенная топография поверхности матрицы (тогда CMP не существовало), поэтому глубина резкости может усложнить съемку.
Маловероятно, что вы сможете точно получить характеристики транзистора, которые были у оригинального чипа. Вам действительно нужно понимать не только обработку, но и физику транзисторов и роль различных имплантатов.
С положительной стороны, если у вас несколько фишек (которые вы бы нужны) , вы можете быть в состоянии освободить доступ к транзистору и быть в состоянии поставить его на характериограф для непосредственного измерения. Размер функции достаточно велик, и, будучи аналоговым чипом, он, вероятно, будет иметь несколько больших транзисторов. Но в этом нет уверенности.
Другая хорошая новость заключается в том, что вы можете купить старые СЭМ по низкой цене. Всего несколько тысяч долларов, и хотя этот чип зернистый, он обладает большими возможностями. Имейте в виду, если у вас есть модуль SIMS, который также может отображать (это модифицированный SEM), чтобы вы могли уйти, не дублируя eqt.