Идентификация структур GaAs FET

Я нашел фотографию в эффектах моего дедушки, которая, по моему мнению, относится к полному транзистору на основе GaAs. Он работал в лаборатории GaAs FET в то время, когда эта фотография была датирована (1975). На обороте было написано «ширина ворот 300 мкм на мезе».

Я полагаю, что это было связано с патентом США US 4160984A, поданным в 1977 году; он указан как один из изобретателей.

Структура чужда мне; где ворота, исток и сток? Любая дополнительная информация о структуре будет принята с благодарностью.

semiconductors fet

— Марк Омо
источник

Как правило, FET моделируется слева направо как «Источник, Ворота, Слив», но я не могу подтвердить это, так как нет достаточной документации, которая предоставляется, и изображение может быть задом наперед. Структура очень симметричная. Это действительно здорово, что твой дедушка был частью этого :) Мой дедушка был инженером-электриком, который работал над системами наведения Apollo для НАСА.

— KingDuken

Вот аннотированная версия того, что к чему, исходя из моего опыта разработки HEMT GaAs и GaN:

Вы можете видеть, как палец затвора отслаивается с обеих сторон двух контактов затвора, если вы посмотрите внимательно. Я не могу сказать, какая сторона является стоком, какая сторона является источником, но если это симметричное устройство, они не отличаются физически (например, FET, разработанный для коммутационных приложений). Я предполагаю, что пунктирная линия - это область мезы.

Очень классные фото и фон :)

— Shamtam
источник

В самом деле. Эта длинная тонкая полоса образует контакт Шоттки с эпитаксией GaAs, на которую она наносится.

— Шамтам

Судя по патенту, похоже, что «пузырчатая» часть контактов источника и стока (внутренняя коробка) является контактом AuGe, а чистый металл на затворе и протяженность контакта - это контакт Аль-Шотки для MESFET. структура. Верхний правый контакт, вероятно, является омическим контактом с подложкой, верхний средний - возможно омическим контактом мезы. Верхняя середина может быть тестовым контактом для омического контакта мезы

— W5VO

Я думаю, что то, что вы пометили «Меза», может быть прореживающим травлением на мезе, а меза может быть в большей степени (пункт 28 на рис. 4 в патенте). Если это так, это приведет к тому, что верхний контакт станет источником, поскольку он имеет омический контакт через мезу к подложке, в то время как нижний омический контакт может не пересечь мезу.

— W5VO

@ W5VO Да, я согласен. После дальнейшего прочтения патента кажется, что используемый термин «перевернутая меза» меня смутил; Более распространенная для меня терминология - называть такую структуру полевым транзистором с утопленными воротами (что довольно стандартно для полевого транзистора GaAs для уменьшения разметки). Я сделаю некоторые обновления в ближайшее время.

— Шамтам

Не беспокойтесь, я смотрел на это и собирался написать что-нибудь за обедом, когда ваш ответ появился

— W5VO