Что такое «вафля риска»?

В производстве интегральных микросхем я столкнулся с термином «пластина риска», который, кажется, отличается от «нормальной» пластины. Но я не могу найти в Интернете никакой информации о том, что на самом деле представляет собой вафля риска.

Когда вы запускаете проектирование в производство, то есть раскладывание ленты, разрушение (создание маски), а затем запуск партии, то, как обычно, запускается партия ES (инженерный образец), которая меньше, чем полная партия производства (25), размером с эта партия ES зависит от фабрики, но обычно составляет 12 или около того. Затем вы помещаете вафельные держатели в разные моменты процесса. Вы начинаете с 12 вафель, но три удерживаются, скажем, на имплантате, а затем еще три удерживаются в затворе, и затем еще три удерживаются на металле 1, что позволяет последним 3 пройти до конечного шага.

Это сделано для того, чтобы при обнаружении проблем на различных этапах вы могли исправить их, а затем перезапустить эти отложенные пластины и не подвергаться длительной задержке. Также это не имеет смысла от потрясающих 25 вафель, которые идут в утиль.

Вы никогда не можете просто удерживать 1 вафлю, так как многие этапы обработки делают несколько вафель за раз (скажем, 6, 3 или 4), и, таким образом, если вы остановите только одну вафлю, она будет иметь замену «фиктивной» вафлей с аналогичной обработка ставится на свое место. Фабрики не любят тратить производственные мощности на металлолом.

Количество, удерживаемое на каждой остановке, будет зависеть от машин (3 пластины или 4 пластины и т. Д. В этом центре машины).

Упомянутая вами «вафля риска» может быть первой партией из 3, которая проходит через ES с остановками или удержаниями в разных местах для других вафель в лоте. Первые из них гораздо «рискованнее». Вафли, которые хранятся в разных местах, могут быть не такими рискованными, поэтому их нельзя считать рискованными. Хотя некоторые фантасты считают их таковыми.

И, наконец, в некоторых случаях, любой неквалифицированный запуск вафель считается риск-вафлей.

Таким образом, этот термин будет зависеть от того, какой класс вы используете.

Полезный совет @bdegnan, который указал, что в некоторых случаях «вафля риска» - это та, где отказ от процесса запрашивается и предоставляется. Поэтому может потребоваться изменить этапы процесса, дозировку или добавить новые скобы (которые еще не прошли аттестацию) или даже отказ от DRC (проверка правил проектирования). Захватил это из комментариев.